MOTT過濾器GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L技術參數(shù)及介紹
更新時間：2026-06-26
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MOTT成立于1959年，致力于過濾器和流體流動產(chǎn)品的工程設計，結(jié)合數(shù)千種應用領域的專業(yè)設計經(jīng)驗和技術打造高度工程化的產(chǎn)品。
MOTT過濾器GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L技術參數(shù)
MOTT過濾器GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L介紹
Mott GasShield® 擴散器可快速將真空腔內(nèi)的氣體排放到大氣中，從而縮短循環(huán)時間并提高產(chǎn)量。Mott不銹鋼擴散器可提供均勻的層流氣體，且不會擾動腔體內(nèi)的顆粒。這些擴散器還能去除進入氣體中大于0.0015 μm的顆粒，最大限度地減少晶圓缺陷。不銹鋼擴散器可承受更高的工作壓力，并可在超過300萬次循環(huán)后仍保持產(chǎn)品完整性。
應用
Mott 擴散器廣泛應用于半導體設備接口（CVD、PVD、蝕刻、外延）或其他真空腔的排氣應用中，例如裝載鎖腔、傳輸腔、冷卻腔和工藝腔，尤其適用于需要在短時間內(nèi)通入大量氣體的場合。
MOTT過濾器其他常用型號：
MOTT GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L 6894036
MOTT GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25 6894039
MOTT GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 6894030
MOTT GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 6894040
MOTT GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L 6894035
MOTT GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22 6894044
MOTT GSE-FLG-3.6-F1-NW100-316L 6894045
MOTT diffuser NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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